|
|
LV - 8600 是设计成装入超微精度的半导体制造设备或精密机床中的传感器式的激光测长仪。利用以激光波长为基准的干涉法，实现高分辨率和高精度。具有安装简单、价格便宜的特点。 |
特点
-
最长可测 10 ｍ
-
实现最大 5 ｍ/ｓ的跟踪速度
-
对应于高速定位控制
-
在整个速度范围内的分辨率为 0.08μｍ
-
采用了干涉仪一体型光学头，光轴对中简单
-
降低价格约 1/2(与本公司的产品比较)
结构
 |
 |
概要规格
|
跟踪速度 |
0 ～ ±5 m/s |
|
分辨率 |
0.07910 μｍ(λ/8、电的4倍乘时) λ 在传感器头上个别记载 |
| 光轴偏差许可值 |
离光束中心 ±0.5 mm以内(使用 LV-0812 时) |
|
精度 *1 |
±0.1 μｍ ± 0.2 ppm × 距离 |
|
量程 |
0 ～ 10 ｍ(传感器头部前面的绝对距离，在使用 LV-0812 时) |
|
光源 |
He-Ne 激光射出光功率 1 mW 以下(级2) 波长 λ＝ 632.8 nm |
|
输出信号 |
AB相矩形波信号 相位差 90°±3°以内 *2 (LVDS 型差动线性驱动器输出)
AB相正弦波信号 (输出阻抗 50 Ω、输出电平 ±0.5 Ｖ 以上 ) |
|
使用电源 |
AC 85 ～ 132 V、170 ～ 264 Ｖ 47 ～ 63 Ｈｚ 消耗电力 70 VA |
|
使用温度 |
＋5 ～ ＋35℃ (传感器头、本体) |
|
湿度范围 |
5 ～ 90 ％(不结露) |
|
外形尺寸 |
本体： 160 (Ｗ) × 88 (Ｈ) × 220 (Ｄ) ㎜ |
|
重量 |
本体： 约 1.7 ｋｇ |
＊1：温度 ＋20℃/气压 1013.25 hpa /湿度 56.8 ％ 的条件下
＊2：LV-8600 输出信号波形
选 购 件
| 型 号 | 名 称 | 用 途 |
| LV-0812 | 光束扩大器6倍 | 将激光直径变成 φ6 mm，可以在绝对距离 0 ～ 10 m 范围内都可测定。 |
| LV-0855 | LV-8600 用计数器卡信号线 | 是将 LV-8600 的 A、B 相矩形波信号输入计数器卡(接头Box)用的信号线。 (LV-0852 计数器卡带1根信号线) |
| LV-0801 | 角锥体φ 4 | 装在小型、轻量的测试物上，使激光向传感器头部反射之用。(重量为0.2 g 以下) |
| LV-0802 | 角锥体φ 7 | 装在测试物上，使激光向传感器头部反射用。(重量为2 g 以下) |
| NP-0010 | 粘接蜡 | 将角锥体粘接在测试物上用。 |
| LV-0831 | 动特性分析软件 | 用位移速度及加速度分析测定物之动特性，同时对应于2张计数器卡。 |
| LV-0833 | 时间系列数据处理软件 | 使用以LV-0831(动特性分析软件)所测定、保存的数据，进行数据之叠写、FFT分析、通道间运算等数据上的处理。 |
| LV-0852 | 计数器卡 PCMCIA 用 | 计数LV-9110A的Up/Down信号或LV-8600的A、B 相矩形波信号。与动特性分析规律组合使用，用1 张卡可接到2台测长仪上。附带一根LV-8600用计数器卡信号线 LV-0855 。 |
| LV-0853 | 高分辨率计数器卡 PCMCIA 用 | 由LV-9110A的Up/Down 信号、phase信号，可对移动位移量以0.01 μm的高分辨率计数。与动特性分析软件组合使用，1张卡可接2台测长仪。带1根LV-9110A 用计数器卡信号线 LV-0854 。 |
| LV-0822 | 传感器头对中夹具 | 使光轴头的光轴调整方便的夹具。 |
| LV-0016 | Z轴微调台 | 可使传感器上下精确定位。 |
| LV-0017 | 大型三脚架 | 在无底座的场所，放置传感器之用。 |
